㈜토야테크
img img img img img
 
 

1. 정의

코팅법 코팅방법
CVD(Chemical Vapor Deposit) 트리메틸실란(Trimethyl-silane) 가스와 같은 유기 규소 화합물을 이용한 화학 증착법
CVR(Chemical Vapor Reaction) 기화된 Silicon이 모재(Graphite) 표면으로부터 탄소와의 화학적인 반응을 통하여 표면을 SiC화 시키는 방법


4f45815992174c510e0a76be4c4b2b3c_a.jpg

2. 각 Coating 법의 특징

CVD (Chemical Vapor Deposition) CVR (Chemical Vapor Reaction)
장점 1. 강도가 좋다.
2. Graphite와 Coating 층의 구별이 확실하다.
3. 내산화성이 뛰어나다.
4. Coating 층 두께 확인이 쉽다.
5. Graphite내의 불순물이 Coating 층 밖으로 나오기 어렵다.
(표면기공이 거의 없다)
1. 치수의 변화가 없다.
2. 생산성이 좋다.
3. 가격이 저렴하다.
4. 열전도율이 좋다.
5. 열팽창계수가 거의 같다.
6. 조립시, 코팅이 취성으로 인한 깨어짐이 없다.
7. 산화 시작 시 육안 발견이 쉽다.
8. 복잡한 형상도 코팅이 가능하다.
단점 1. 산화 시작을 구별하기 어렵다.
2. 표면이 상대적으로 거칠다.
3. 정밀한 공차를 요구하는 제품에 사용 이 어렵다.
4. 생산성이 떨어진다.
5. 가격이 높다.
6. 열전도율이 상대적으로 떨어진다.
7. 열팽창계수의 차이로 인해 Crack이 발생할 수 있다.
8. 재료에 따라 코팅이 불가능한 재료가 있다.
1. 강도가 상대적으로 약하다.
2. CVD에 비해 내산화성이 떨어진다.
(산화가 일어나는 사용 분위기에서는 사용이 어렵다.)
3. Coating 층 두께 확인이 어렵다.
4. Graphite내의 불순물이 표면으로 나 올 수 있다.
(표면기공이 상대적으로 많이 존재)
5. Graphite의 이형성이 없어진다.
6. 보이지 않던 가공Tool 자국이 드러나는 경우가 있다

미세구조(CVR)



4f45815992174c510e0a76be4c4b2b3c_aa.jpg

4f45815992174c510e0a76be4c4b2b3c_aaa.jpg


                                  

媛쒖씤젙蹂댁랬湲됰갑移